溅射法生产镀膜玻璃应注意的事项有:玻璃要新鲜、玻璃镀膜钱清洗的质量要高、玻璃在运输及储存中要防止雨淋、清洗后的玻璃不能用裸手触摸、镀膜钱的辉光放点的强度和时间要符合工艺要求、反应溅射镀膜要准确地控制好反应气体的用量、工艺参数要稳定。
1、 玻璃要新鲜,新鲜的玻璃表面化学活性大,有利于化学吸附和物理吸附,供生产镀膜玻璃的玻璃原片,自离开玻璃生产线算起,应不超过一个月。
2、 玻璃镀膜钱清洗的质量要高,要用配有洗涤剂的水刷洗并用质量符合要求的去离子水冲洗,然后用无尘的干燥空气吹干。
3、 玻璃在运输及储存中要防止雨淋。浮法玻璃沾水后长期在高温潮湿的环境中储存,容易产生霉斑,这种霉斑洗涤机难以清除,镀膜后则清晰显露。
4、 清洗后的玻璃不能用裸手触摸。清洗后的玻璃若用裸手触摸,手的汗渍、油污、脏物连同手纹都留在玻璃表面,镀膜后能清晰地显出手纹,此处的膜层与玻璃结合牢固的程度受到影响,经过一段时间,可能自动脱落。
5、 镀膜钱的辉光放点的强度和时间要符合工艺要求。要按工艺规程的电压、电流和处理时间进行处理,保证一定的处理时间(不少于20s)。这样可以除去玻璃表面和溅射壁所吸附的大量水分和气体分子,有利于激活玻璃表面的化学活性。
6、 反应溅射镀膜要准确地控制好反应气体的用量。反应气体用量少了,不能获得充分反应的效果;多了,可能影响膜层牢固度。
7、 工艺参数要稳定。溅射电流、电压的波动,都将会影响溅射量及溅射的中性原子(或分子)与基片的吸附度,只有稳定的工艺控制才能生产出厚度均匀、膜层牢固的镀膜玻璃。
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